X射線熒光光譜儀可分為具有高分辨率的光譜儀，分辨率較低的便攜式光譜儀，和介于兩者之間的臺(tái)式光譜儀。高分辨率光譜儀通常采用液氮冷卻的半導(dǎo)體探測(cè)器，如Si（Li）和高純鍺探測(cè)器等。低分辨便攜式光譜儀常常采用正比計(jì)數(shù)器或閃爍計(jì)數(shù)器為探測(cè)器，它們不需要液氮冷卻。近年來，采用電致冷的半導(dǎo)體探測(cè)器，高分辨率譜儀已不用液氮冷卻。同步輻射光激發(fā)X射線熒光光譜、質(zhì)子激發(fā)X射線熒光光譜、放射性同位素激發(fā)X射線熒光光譜、全反射X射線熒光光譜、微區(qū)X射線熒光光譜等較多采用的是能量色散方式。

 

　　X射線熒光光譜儀的特點(diǎn)：

　　1、X射線熒光光譜儀具有優(yōu)異的測(cè)量結(jié)果：

　　X射線熒光光譜儀于利用高達(dá)4千瓦的電源對(duì)樣品進(jìn)行勵(lì)磁，確保每種元素都可以達(dá)到大的強(qiáng)度。由于X射線陽極管、樣品表面與X射線探測(cè)器之間的緊密耦合，它們之間的距離達(dá)到小化，并且可能獲得蕞高的計(jì)數(shù)率。此外，每種重要元素都可以由單獨(dú)的通道進(jìn)行測(cè)量。這些先進(jìn)的功能促成了好的計(jì)數(shù)統(tǒng)計(jì)和優(yōu)異的結(jié)果。
 

　　2、金屬生產(chǎn)過程控制中的準(zhǔn)確度和精密度：

　　在短時(shí)間內(nèi)得出結(jié)果、實(shí)現(xiàn)好的準(zhǔn)確度和*的精密度，是成功過程控制的主要需求。X射線熒光光譜儀將其已經(jīng)驗(yàn)證的單元素通道與新的多元素通道?融合到自己的設(shè)計(jì)之中。借助4千瓦高勵(lì)磁電源和元素通道，X射線熒光光譜儀能夠?yàn)榻饘偕a(chǎn)中的必需元素提供*精密度，同時(shí)其創(chuàng)新的多元素通道可以同步分析其他元素指紋，所有這些都將在40秒內(nèi)完成。相比傳統(tǒng)的同步XRF光譜儀，這一優(yōu)勢(shì)可以為鋼鐵和有色金屬生產(chǎn)的過程控制帶來必要的益處。